半導(dǎo)體參數(shù)分析儀  ，對標(biāo)Keithley 4200A-SCS

Tensormeter專為自動精密測量電阻和電壓而設(shè)計。Tensormeter設(shè)備的特點是其基于集成矩陣開關(guān)的創(chuàng)新靈活架構(gòu)。該開關(guān)矩陣使得測量不僅限于傳統(tǒng)的四線阻抗測量，還包括張量測量、范德堡測量等，并且使設(shè)備能夠補(bǔ)償自身的漂移、偏移和噪聲，從而實現(xiàn)優(yōu)異的穩(wěn)定性。Tensormeter RTM2能夠使用單一設(shè)備實現(xiàn)電阻張量（縱向和橫向電阻）的自動記錄，甚至可以在未加模式的薄膜上進(jìn)行。它結(jié)合了鎖相放大器和源/測量單元的優(yōu)點，并具有出色的交流和直流性能。其測量范圍涵蓋從納歐姆到太赫茲，至少有8位數(shù)字的動態(tài)范圍。

應(yīng)用領(lǐng)域：
材料研究與表征：固體物理學(xué)；半導(dǎo)體物理學(xué)；磁學(xué)；柔性電子學(xué)；自旋電子學(xué)；新型功能電子材料和器件
工業(yè)研發(fā)和晶圓/器件測試：微電子器件；存儲器件；晶體管、二極管；LED/OLED；太陽能電池；顯示器、TCO（導(dǎo)電氧化物透明電極）；傳感器
優(yōu)勢:

取代了所有用于電性特性測量的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備（例如鎖相放大器、源/測量單元、數(shù)字萬用表）。
通過集成的矩陣開關(guān)克服了固定4點測量的局限性。
提供van-der-Pauw和電阻張量測量的預(yù)設(shè)，并允許用戶進(jìn)行配置。
不需要復(fù)雜的樣品制備（例如光刻結(jié)構(gòu)）。
允許輕松連接到許多不同的測量設(shè)置（例如探針站、低溫系統(tǒng)、真空系統(tǒng)）。
節(jié)省測量時間并提高樣品通過量。

特點:

基于集成切換矩陣的可重新配置設(shè)備架構(gòu)。 8個用戶定義通道（BNC連接器），其功能（輸入或輸出）可以自由確定。
使用固定連接進(jìn)行傳統(tǒng)的交流和直流四線測量（Kelvin/霍爾幾何）。
使用一個設(shè)備進(jìn)行交替連接的交流和直流測量（van-der-Pauw幾何）。
在無需光刻圖案的情況下同時測量縱向和橫向電阻的精確分離絕對值。
常見測量模式的軟件預(yù)設(shè)，但可以切換到用戶需要的任意序列。
基于TCP的通信，易于在任何環(huán)境中集成（例如LabVIEW、C、Python）。

控制軟件用戶界面：

典型測量示例:

半導(dǎo)體參數(shù)分析儀在標(biāo)準(zhǔn)幾何形狀（Kelvin和Hall布局）中進(jìn)行超低噪聲和高穩(wěn)定性的交流和直流四線測量。
在不規(guī)則、非結(jié)構(gòu)化的薄膜樣品上進(jìn)行Van-der-Pauw切換連接的四線測量。
零偏Hall四線測量（即使在非結(jié)構(gòu)化樣品上也能精確分離縱向和橫向電阻）。
亞百萬分之一相對電阻變化的測量。
比率電阻測量，以消除樣品和器件漂移。

高驅(qū)動諧波失真測量，脈沖和測量例行程序。

低電阻傳感器和樣品：電阻傳感器的差分輸入噪聲頻譜。超低寬帶和1/f噪聲的交流測量可精確表征和操作傳感器。

零偏Hall：消除漂移和寄生效應(yīng) 薄膜樣品上Hall測量的差分輸入噪聲頻譜。Tensormeter的零偏Hall預(yù)設(shè)消除了熱漂移，允許長時間積分，并且相比于常規(guī)的4線Hall測量，靈敏度提高了數(shù)個數(shù)量級。

自旋電子學(xué)：在反鐵磁樣品熱穩(wěn)定期間磁序的喪失在Hall電阻中監(jiān)測。Tensormeter的零偏Hall預(yù)設(shè)（頂部）清晰顯示了信號的喪失。相反，在相同樣品的常規(guī)4線Hall測量中，寄生信號的貢獻(xiàn)掩蓋了有用的磁化信號（底部）。

技術(shù)參數(shù)：

電氣規(guī)格

硬件/安裝

產(chǎn)品示意圖：

設(shè)備前面板包括：1. 8個BNC端口，用于多個模擬功能：驅(qū)動、感測、參考相位鎖定。2. LED指示燈，用于指示端口功能：輸入（白色箭頭）或輸出（藍(lán)色箭頭）。3. 冷卻風(fēng)流入口（請勿阻擋）。4. 便于攜帶和機(jī)架安裝的把手。5. 19英寸機(jī)架安裝孔。

設(shè)備后面板包括：6. 2個BNC端口，用于多個數(shù)字功能：觸發(fā)、閾值檢查、PWM。7. 以太網(wǎng)連接器，用于主要的TCP通信。8. 帶保險絲和開關(guān)的主電源插口。9. 設(shè)備信息顯示。10. 冷卻風(fēng)流出口（請勿阻擋）。

貨物清單：

Tensormeter RTM2 19英寸機(jī)架安裝設(shè)備
軟件包，包括LabVIEW和Python的客戶端代碼示例（無需驅(qū)動程序）
Tensormeter RTM2用戶指南，包括TCP命令、操作參數(shù)指南
帶F型連接器的主電源電纜（根據(jù)需要提供其他類型）
以太網(wǎng)電纜